[發明專利]用于改良互連性能的保護通孔蓋有效
| 申請號： | 201580029003.0 | 申請日： | 2015-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN106415829B | 公開（公告）日： | 2019-12-17 |
| 發明（設計）人： | M·奈克;P·F·馬;S·D·耐馬尼 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H01L23/48 | 分類號： | H01L23/48 |
| 代理公司： | 31100 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 侯穎媖 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 改良 互連 性能 保護 通孔蓋 | ||
【權利要求書】：
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