[發(fā)明專利]用于將飛秒或皮秒激光束掩模投射到襯底表面上的設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580027326.6 | 申請(qǐng)日： | 2015-05-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106457467B | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | G·雷瑟;S·威斯曼特爾;A·恩格爾;M·法伊弗;A·克拉茲;C·伯格利;M·科爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 伯格利-格拉維瑞斯股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B23K26/04 | 分類號(hào)： | B23K26/04;B23K26/06;B23K26/12;B23K26/16 |
| 代理公司： | 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262 | 代理人： | 張春媛;閻娬斌 |
| 地址： | 瑞士馬材*** | 國(guó)省代碼： | 瑞士;CH |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 葉片 透鏡 系統(tǒng) 用于 激光束 投射 設(shè)備 | ||
【說明書】：
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B23 機(jī)床；其他類目中不包括的金屬加工
B23K 釬焊或脫焊；焊接；用釬焊或焊接方法包覆或鍍敷；局部加熱切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26-00 用激光束加工，例如焊接，切割，打孔
B23K26-02 .工件的定位和觀測(cè)，如相對(duì)于沖擊點(diǎn)，激光束的對(duì)正，瞄準(zhǔn)或聚焦
B23K26-08 .激光束與工件具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的裝置
B23K26-12 .在一特殊氣氛中，例如在罩中
B23K26-14 .利用流體，如氣體的射流，與激光束相結(jié)合
B23K26-16 .排除副產(chǎn)物，例如對(duì)工件處理時(shí)產(chǎn)生的微粒或蒸氣
B23K 釬焊或脫焊；焊接；用釬焊或焊接方法包覆或鍍敷；局部加熱切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26-00 用激光束加工，例如焊接，切割，打孔
B23K26-02 .工件的定位和觀測(cè)，如相對(duì)于沖擊點(diǎn)，激光束的對(duì)正，瞄準(zhǔn)或聚焦
B23K26-08 .激光束與工件具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的裝置
B23K26-12 .在一特殊氣氛中，例如在罩中
B23K26-14 .利用流體，如氣體的射流，與激光束相結(jié)合
B23K26-16 .排除副產(chǎn)物，例如對(duì)工件處理時(shí)產(chǎn)生的微粒或蒸氣
