[發(fā)明專利]CuSn、CuZn和Cu2ZnSn濺射靶在審

申請?zhí)枺?/td>	201580026122.0	申請日：	2015-04-30
公開（公告）號：	CN106460162A	公開（公告）日：	2017-02-22
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	M·舒爾塞斯;C·西蒙斯	申請（專利權(quán)）人：	賀利氏德國有限責(zé)任兩合公司
主分類號：	C23C14/34	分類號：	C23C14/34
代理公司：	北京市中咨律師事務(wù)所11247	代理人：	李穎;林柏楠
地址：	暫無信息	國省代碼：	德國;DE
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	cusn cuzn cu2znsn 濺射
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