[發明專利]研磨墊及其制造方法有效
| 申請號： | 201580025755.X | 申請日： | 2015-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN106457508B | 公開（公告）日： | 2019-05-31 |
| 發明（設計）人： | 佐藤三千登;上野淳一;石井薰;川村佳秀;吉田泰司;高木正孝 | 申請（專利權）人： | 富士紡控股株式會社;信越半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/22 | 分類號： | B24B37/22;B24B37/24;B24B37/26;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 楊宏軍;焦成美 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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