[發(fā)明專利]對流體流動的物理參數(shù)敏感的元件的制造方法以及相應(yīng)的敏感元件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580025465.5 | 申請日： | 2015-03-17 |
| 公開（公告）號： | CN106461440B | 公開（公告）日： | 2020-04-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 克里斯汀·格拉斯;凱瑟琳·多納特 | 申請（專利權(quán)）人： | 奧克西特羅股份公司 |
| 主分類號： | G01F1/69 | 分類號： | G01F1/69;G01K1/08;G01K7/16;G01K13/02;H01C1/028 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 楊生平;劉曉玲 |
| 地址： | 法國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 流體 流動 物理 參數(shù) 敏感 元件 制造 方法 以及 相應(yīng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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