[發明專利]在線型濃度計量裝置

在審

• 申請號: 201580024410.2
• 申請日: 2015-07-23
• 公開（公告）號: CN106662524A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 出口祥啓;永瀨正明;池田信一;山路道雄;藥師神忠幸
• 申請（專利權）人: 國立大學法人德島大學;株式會社富士金
• 主分類號: G01N21/15
• 分類號: G01N21/15;G01N21/03;G01N21/05;G01N21/27;G01N21/3504
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙)11387
• 代理人: 劉春成

技術領域

本發明涉及一種在線型濃度計量裝置，其被組入向半導體制造裝置供給有機金屬(MO)氣體等的原料流體的管線、用于依據吸光光度法的原理測量氣體供給管線中的氣體濃度。

背景技術

目前，已知被組入半導體制造裝置的原料流體供給管線的在線型濃度計(例如專利文獻1等)。

圖8是表示相關連的濃度計量裝置的一例的概略結構。在圖8中，從由發光電二極管等構成的光源1所發出的規定波長的光，通過光纖2被傳送到光入射部3，經由設置在光入射部3的石英玻璃或藍寶石玻璃等的窗部件4，入射至氣體流路5，在氣體流路5內被氣體吸收之后，通過對面的窗部件6，在具有光電二極管7的受光部8被受光。光電二極管7將檢測出的光轉換成電信號并輸出，該輸出信號通過電配線9，被送至內設有CPU的控制運算部10，由控制運算部10進行規定的運算處理，顯示部11顯示出氣體濃度。控制運算部10也控制對光源1進行電力供給的電源12。光源1能夠發出1或是2以上的波長的光。

圖8的氣體流路5，其詳細的截面圖如圖9所示，具有：形成有氣體流路5的金屬制的測定單元主體15、通過墊圈16與測定單元主體15連接的光入射部3和通過墊圈17與測定單元主體15連接的受光部8。氣體流路5具有：在光入射部3和受光部8之間以直線狀被貫通形成而成為光路L的光路用氣體流路部5a、以及與光路用氣體流路部5a連通且在測定單元主體15的底面15a開口的左右一對連通部5b、5c。光入射部3安裝有窗部件4和光纖2。受光部8安裝有窗部件6和光電二極管7。在測定單元主體15的底面15a上連接有氣體流入側的接頭20和氣體流出側的接頭21。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-206045號公報

發明內容

但是，圖9所示的構造的在線型濃度計量裝置，如果MO氣體流動，有機金屬材料會在窗部件4、6上堆積，有必須頻繁更換窗部件4、6的問題。

如圖10放大所示的那樣，本發明人等悉心研究的結果發現：例如涉及窗部件4，因為在窗部件4的附近產生氣體容易滯留的死空間(無效空間)D，所以如果MO氣體流動，有機金屬材料容易在窗部件4上堆積。對于窗部件6(圖9)也同樣。

于是，為了解決上述問題，本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第一方式，具有：測定單元主體，其形成有氣體流路；光入射部，其與該測定單元主體連接且具有窗部件；和受光部，其與上述測定單元主體連接且具有窗部件，上述氣體流路具有：光路用氣體流路部，其在上述光入射部的窗部件和上述受光部的窗部件之間形成為直線狀而成為光路；第一連通部，其從形成于上述測定單元主體的氣體流入口連通至上述光路用氣體流路部；和第二連通部，其從形成于上述測定單元主體的氣體流出口連通至上述光路用氣體流路部，上述第一連通部從上述氣體流入口向著上述光入射部的窗部件傾斜延伸。

本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第二方式，在上述第一方式中，上述第二連通部從上述氣體流出口向著上述受光部的窗部件傾斜延伸。

本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第三方式，具有：測定單元主體，其形成有氣體流路；光入射部，其與該測定單元主體連接且具有窗部件；和受光部，其與上述測定單元主體連接且具有窗部件，上述氣體流路具有：光路用氣體流路部，其在上述光入射部的窗部件和上述受光部的窗部件之間形成為直線狀而成為光路；第一連通部，其從形成于上述測定單元主體的氣體流入口連通至上述光路用氣體流路部；和第二連通部，其從形成于上述測定單元主體的氣體流出口連通至上述光路用氣體流路部，上述第二連通部從上述氣體流出口向著上述受光部的窗部件傾斜延伸。

本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第四方式，在上述第一或第三方式中，上述第一連通部的流路截面積比上述光路用氣體流路部的流路截面積小。

本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第五方式，在上述第一或第三方式中，上述光入射部具有保持體，上述保持體保持光纖，并在上述保持體與上述測定單元主體之間夾持有所述窗部件，在上述測定單元主體和上述保持體的一方形成嵌合凹部，同時，在上述測定單元主體和上述保持體的另一方形成嵌合于該嵌合凹部的嵌合凸部，上述窗部件被夾持于上述嵌合凹部的凹底、上述嵌合凸部和突端面之間。

本發明所涉及的在線型濃度計量裝置的第六方式，在上述第五方式中，上述嵌合凹部形成為帶臺階凹部，并且上述嵌合凸部形成為與上述帶臺階凹部嵌合的帶臺階凸部，通過上述嵌合凹部的臺階部和上述嵌合凸部的臺階部相互抵接而形成密封面。