[發(fā)明專利]壓電性氧化物單晶基板有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580024395.1 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106464228B | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 丹野雅行;阿部淳;桑原由則 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | H03H9/145 | 分類號(hào)： | H03H9/145;H01L41/187;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京市隆安律師事務(wù)所 11323 | 代理人： | 權(quán)鮮枝;侯劍英 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 氧化物 單晶基板 | ||
【說明書】：
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