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[發明專利]半導體裝置以及半導體裝置的制造方法有效

專利信息
申請號: 201580021975.5 申請日: 2015-11-11
公開(公告)號: CN106463504B 公開(公告)日: 2019-11-29
發明(設計)人: 吉田崇一;宮田大嗣 申請(專利權)人: 富士電機株式會社
主分類號: H01L27/04 分類號: H01L27/04;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/861;H01L29/868
代理公司: 11286 北京銘碩知識產權代理有限公司 代理人: 金玉蘭;李盛泉<國際申請>=PCT/JP
地址: 日本神奈*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 以及 制造 方法
【說明書】:
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