[發明專利]III族氮化物結晶的制造方法及III族氮化物結晶制造裝置有效
| 申請號： | 201580021973.6 | 申請日： | 2015-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN106460228B | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 森勇介;吉村政志;今出完;伊勢村雅士;岡山芳央 | 申請（專利權）人： | 國立大學法人大阪大學;伊藤忠塑料株式會社;松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | C30B29/38 | 分類號： | C30B29/38;C30B19/02;C30B25/20;C30B33/00;H01L21/205;H01L21/208 |
| 代理公司： | 北京北翔知識產權代理有限公司 11285 | 代理人： | 蘇萌;鐘守期 |
| 地址： | 日本大阪*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | iii 氮化物 結晶 制造 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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