[發(fā)明專利]研磨方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580020769.2 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106457507B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 小林洋一;八木圭太;木下將毅;鹽川陽(yáng)一 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社荏原制作所 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/013 | 分類號(hào)： | B24B37/013;B24B37/34;B24B49/02;B24B49/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本東京都*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 方法 裝置 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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