[發明專利]環境場濺射源有效
| 申請號： | 201580020624.2 | 申請日： | 2015-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN106232861B | 公開（公告）日： | 2019-07-30 |
| 發明（設計）人： | 馬修·杰斯卡;羅伯特·M·貝蘭;庫爾特·約翰·萊斯克III | 申請（專利權）人： | 庫爾特J·萊斯克公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中譽威圣知識產權代理有限公司 11279 | 代理人： | 陳變花;席勇 |
| 地址： | 美國賓夕*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 環境 濺射 | ||
【說明書】：
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