[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及具有該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的薄膜厚度監(jiān)控器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580019561.9
• 申請(qǐng)日: 2015-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN106662155B
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小高學(xué);古瀨晴邦;前田章弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛發(fā)科
• 主分類號(hào): F16C35/067
• 分類號(hào): F16C35/067;F16C19/06
• 代理公司: 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括：電機(jī)(2)；接收來自電機(jī)(2)的動(dòng)力并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)被旋轉(zhuǎn)體(7)的輸出軸(3)；以及由外部插入輸出軸(3)并支撐該輸出軸(3)的滾動(dòng)軸承(6)，輸出軸(3)的前端部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)體(4)，旋轉(zhuǎn)體(4)通過旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置(5)與被旋轉(zhuǎn)體(7)連接的同時(shí)，滾動(dòng)軸承的外圈(61)嵌合在設(shè)置于旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置(8)中的槽部(51a、51b)內(nèi)。由此，本發(fā)明具有滾動(dòng)軸承抗疲勞的結(jié)構(gòu)，可以延長使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種配置在真空室內(nèi)，并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)位于該真空室內(nèi)的被旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及具有該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的薄膜厚度監(jiān)控器。

背景技術(shù)

例如，在基板表面形成薄膜的真空蒸鍍裝置中，為了連續(xù)高精度監(jiān)控薄膜厚度，通常在真空室內(nèi)設(shè)置薄膜厚度監(jiān)控器，其中有產(chǎn)品使用石英晶體振蕩器。這種薄膜厚度監(jiān)控器已知例如專利文獻(xiàn)1。該產(chǎn)品具有包括石英晶體振蕩器的監(jiān)控器本體，以及使石英晶體振蕩器局部露出的、作為被旋轉(zhuǎn)體的圓盤狀部件，圓盤狀部件配置在真空室內(nèi)，與構(gòu)成旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸直接連接并由其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。此時(shí)，作為輸出軸的驅(qū)動(dòng)軸通常由從外部插入該驅(qū)動(dòng)軸的滾動(dòng)軸承支撐。

此處，由于石英晶體振蕩器朝向設(shè)置在真空室內(nèi)的蒸發(fā)源配置，所以圓盤狀部件也是朝向蒸發(fā)源配置，并在成膜過程中被蒸發(fā)源發(fā)出的輻射熱所加熱。一旦圓盤狀部件被加熱，則圓盤狀部件上的熱量經(jīng)驅(qū)動(dòng)軸傳導(dǎo)到滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈。因此，存在內(nèi)圈首先發(fā)生熱膨脹，內(nèi)圈和外圈之間的間隙收縮，導(dǎo)致滾動(dòng)軸承本身容易提早疲勞的問題出現(xiàn)。

然而，近年來，例如有機(jī)EL元件這樣的利用了有機(jī)材料的有機(jī)膜得到廣泛使用。在真空蒸鍍這種有機(jī)膜時(shí)，如果使用石英晶體振蕩器監(jiān)控薄膜厚度的話，由于有機(jī)膜是所謂的彈性膜，所以與金屬膜或化合物膜相比，石英晶體振蕩器的壽命顯著縮短。因此，采用例如盡可能地減小被圓盤狀部件局部露出的石英晶體振蕩器的面積等方法以提高石英晶體振蕩器的使用壽命。這種情況下，如上所述，由于滾動(dòng)軸承本身容易提早疲勞，最終無法長期監(jiān)控薄膜厚度。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

【專利文獻(xiàn)1】專利公開平11－222670號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

鑒于以上內(nèi)容，本發(fā)明的課題是提供一種具有抗疲勞滾動(dòng)軸承結(jié)構(gòu)的、使用壽命長的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及具有該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的薄膜厚度監(jiān)控器。

為解決上述技術(shù)問題，配置在真空室內(nèi)并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)被旋轉(zhuǎn)體的本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：電機(jī)；接收來自電機(jī)的動(dòng)力并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)被旋轉(zhuǎn)體的輸出軸；以及由外部插入輸出軸并支撐該輸出軸的滾動(dòng)軸承；輸出軸的前端部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)體通過旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置與被旋轉(zhuǎn)體連接的同時(shí)，滾動(dòng)軸承的外圈嵌合在設(shè)置于旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置中的槽部內(nèi)。

采用本發(fā)明，在被旋轉(zhuǎn)體被加熱時(shí)，來自被旋轉(zhuǎn)體的熱量經(jīng)旋轉(zhuǎn)力傳遞裝置向滾動(dòng)軸承的外圈進(jìn)行熱散逸，外圈比內(nèi)圈先發(fā)生熱膨脹。因此，內(nèi)圈和外圈之間的間隙不會(huì)收縮，可使?jié)L動(dòng)軸承本身成為抗疲勞結(jié)構(gòu)。

而如上述以往例子所示，一旦被旋轉(zhuǎn)體與電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸(輸出軸)直接連接，則在旋轉(zhuǎn)體被加熱時(shí)，也會(huì)向驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)行熱散逸，存在電機(jī)內(nèi)的軸承提早疲勞，電機(jī)本身的壽命縮短的問題。因此，在本發(fā)明中，優(yōu)選所述輸出軸經(jīng)動(dòng)力傳導(dǎo)裝置與所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸連接，以可自由冷卻的機(jī)架保持電機(jī)。由此，可有效抑制被旋轉(zhuǎn)體被加熱時(shí)向電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)行的熱散逸，可冷卻電機(jī)本身，并可延長含有電機(jī)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的使用壽命，是有利的。