[發明專利]用于監測并且調節流體流量的芯片器件及其制造方法有效
| 申請號： | 201580018248.3 | 申請日： | 2015-02-01 |
| 公開（公告）號： | CN106164636B | 公開（公告）日： | 2019-10-22 |
| 發明（設計）人： | T·施米洛維奇;N·莫利納茲 | 申請（專利權）人： | 埃斯梅斯公司 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小東 |
| 地址： | 以色列*** | 國省代碼： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 監測 并且 調節 流體 流量 芯片 器件 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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