[發明專利]用于激光維持等離子體的橫向泵激的系統及方法有效
| 申請號： | 201580018142.3 | 申請日： | 2015-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN106165061B | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發明（設計）人： | I·貝澤爾;A·謝梅利寧;R·索拉茲;S·吳;M·德斯泰恩 | 申請（專利權）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J63/08 | 分類號： | H01J63/08;H01J61/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 泵激 等離子體 照明光學元件 配置 寬帶輻射 激光 等離子體發射 等離子體光源 傳播方向 光學元件 路徑收集 照明引導 泵激源 寬帶光 發射 焦斑 解耦 界定 照射 | ||
【權利要求書】：
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