[發明專利]用于高磁性材料的濺射系統及方法在審
| 申請號： | 201580017459.5 | 申請日： | 2015-02-19 |
| 公開（公告）號： | CN106133181A | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發明（設計）人： | D·W·布朗;T·布魯克 | 申請（專利權）人： | 因特瓦克公司 |
| 主分類號： | C23C14/00 | 分類號： | C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪貴 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 磁性材料 濺射 系統 方法 | ||
【權利要求書】：
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