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[發(fā)明專利]具有絕緣基板的MEMS馬達(dá)在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201580017175.6 申請日: 2015-04-01
公開(公告)號: CN106132869A 公開(公告)日: 2016-11-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 邵寧;E·J·勞滕施拉格爾 申請(專利權(quán))人: 美商樓氏電子有限公司
主分類號: B81B7/02 分類號: B81B7/02;B81C1/00
代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 代理人: 呂俊剛;師瑋
地址: 美國伊*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 具有 絕緣 mems 馬達(dá)
【權(quán)利要求書】:
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