[發明專利]吸氣劑泵

有效

• 申請號: 201580017115.4
• 申請日: 2015-03-25
• 公開（公告）號: CN106133314B
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 安東尼奧·博努奇;保羅·馬尼尼;安德烈亞·康特;盧卡·維亞勒
• 申請（專利權）人: 工程吸氣公司
• 主分類號: F04B37/02
• 分類號: F04B37/02;F04B37/14;H01J41/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 蔡勝有,蘇虹

本發明涉及包括多個吸氣劑筒的改進的吸氣劑泵。

單獨使用或者結合其它類型的泵使用的吸氣劑泵得到廣泛的使用和認可，并且被描述于多種不同的文獻中，如申請人名下的國際專利申請WO 9858173、WO 2010/105944和WO 2009/118398。

盡管吸氣劑泵與其它類型的真空泵的組合在某些應用(比如表面科學系統、以及在真空下運行的分析器)中能夠提供顯著的優點，但在存在不允許這種組合使用的限制因素的情況下、特別地在如H₂、CO、CO₂的活性氣體為主要氣體源并且稀有氣體的泵送不是問題的情況下，優選使用獨立式吸氣劑泵。

申請人名下的EP 0742370和EP 0753663這兩者中描述了使用安裝在中心支承件上的吸氣劑材料的多個盤的特定類型的吸氣劑泵，而申請人名下的US 6149392中描述了包括多個這種元件的泵，上述申請的教導和內容通過引用并入本文。

在US 6149392中認識到，對于一些應用而言更重要且更關鍵的是具有高氣體吸附速度而不是高氣體吸附量，典型的實例為粒子加速器的情況，在粒子加速器中，加速器的不同的區段中安裝有多個真空泵以在整個全長上提供足夠的真空度。

發明人對這個問題進行了進一步的研究，并且找到了能夠進一步改進泵送速度的替代性的不同的配置，如申請人名下的尚未公布的國際申請號PCT/IB2013/058802中所描述的。

在對吸氣劑泵的替代性幾何構造和筒布置的問題進行進一步的開發和研究時，發明人找到了不同的解決方案，該解決方案在特定的情況下提供相對于前述申請PCT/IB2013/058802中描述的配置的優勢。特別地，本發明為如下吸氣劑泵，該吸氣劑泵包括殼體和安裝在所述吸氣劑泵殼體內的多個吸氣劑筒，其中，殼體的形狀為具有旋轉軸的旋轉體，每個筒包括線形中心支承件和安裝在所述線形中心支承件上的間隔開的吸氣劑元件。正交于旋轉軸并且與線形中心支承件的中點相交的平面被定義為吸氣劑筒“定位平面”，并且該泵的特征在于，由所述定位平面相對于線形中心支承件形成的角為35°至75°，優選地為40°至70°。

表述“旋轉體”旨在包括通過使平面區域繞位于同一平面中的給定的軸線(也定義為“旋轉軸”)旋轉而獲得的所有的那些立體圖形。在本發明的常見且最有用的實施方案中，旋轉體為截頭圓錐，而其它有用的形狀為圓錐或圓柱或者圓錐和圓柱的組合。此外，對本發明的目的，考慮到旋轉體是理想的形狀然而泵殼體是實際的物體，相對于理想的幾何旋轉形狀有微小偏差仍屬于理想的幾何旋轉形狀的程度和范圍內。

將借助以下附圖對本發明進行進一步的說明，其中：

圖1示出了根據現有技術的吸氣劑筒的示意圖，并且在本文中用作根據本發明的吸氣劑泵中的構成元件；

圖1A示出了根據現有技術的吸氣劑筒的變化方案的示意圖；

圖2示出了根據本發明的吸氣劑泵的一個實施方案的截面圖；

圖3A和圖3B示出了根據本發明的吸氣劑泵的替代性且彼此相似的實施方案的截面圖；

圖4示出了根據本發明的吸氣劑泵的另一替代性實施方案的截面圖。

在圖中，元件的尺寸和尺寸比例不一定是準確的，并且在一些情況下，例如在圖1中，改變了盤狀的間隔開的吸氣劑元件的直徑相對于中心軸的直徑以便提高圖的可理解性。

根據本發明的吸氣劑泵設想了存在多個吸氣劑筒，比如圖1中示意性示出的吸氣劑筒，每個吸氣劑筒10具有用作支承件的中心軸11和多個間隔開的吸氣劑元件12、12’、…、12ⁿ，所述多個間隔開的吸氣劑元件12、12’、…、12ⁿ通常且最優選地具有盤狀。由于對于將吸氣劑盤固定至中心軸的裝置對于理解本發明而言不是必需的并且在本領域技術人員的知識范圍內，因此圖1中并未示出用于將吸氣劑盤固定至中心軸的裝置。

如圖1A中示出的，適于在根據本發明的吸氣劑泵中使用的替代性吸氣劑筒100可以具有非等間隔的，而是在末端處或者在盤堆疊體內可以具有一些間隙/空隙的吸氣劑盤，和/或替代性吸氣劑筒100可具有如下一些盤(通常為最上面的盤和最下面的盤)，所述盤具有減小的直徑和/或偏心的布置以便于吸氣劑筒的插入/連接。

這些空間在存在由筒本身或其它元件(例如供電線纜或進給槽)造成的所需考慮的負擔的情況下是有用的。

因此，具有基本上等間隔的多個吸氣劑元件的吸氣劑筒只是適合在根據本發明的泵中使用的吸氣劑筒的優選而非限制性的實例。