[發明專利]研磨用組合物在審
| 申請號： | 201580016859.4 | 申請日： | 2015-01-30 |
| 公開（公告）號： | CN106133104A | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發明（設計）人： | 橫田周吾;鈴木章太;赤塚朝彥;大和泰之;坂部晃一;井澤由裕;吉崎幸信;齋藤千晶 | 申請（專利權）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 | ||
【說明書】：
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