[發明專利]具有改進的功率均勻性的微波等離子體施加器有效
| 申請號： | 201580016675.8 | 申請日： | 2015-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN106465530B | 公開（公告）日： | 2019-01-25 |
| 發明（設計）人： | 陳星;冀成相;艾琳·馬登;伊利雅·波可多夫;凱文·W·文策爾 | 申請（專利權）人： | MKS儀器股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人： | 王達佐;王艷春 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 改進 功率 均勻 微波 等離子體 施加 | ||
【權利要求書】：
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