[發明專利]硼摻雜的N型硅靶材在審
| 申請號： | 201580016650.8 | 申請日： | 2015-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN106133186A | 公開（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發明（設計）人： | E.Y.伊萬諾夫;Y.袁 | 申請（專利權）人： | 東曹SMD有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 美國俄*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 摻雜 型硅靶材 | ||
【說明書】：
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