[發(fā)明專(zhuān)利]Δ裸片及Δ數(shù)據(jù)庫(kù)檢驗(yàn)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580015883.6 | 申請(qǐng)日： | 2015-03-24 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106165078B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-08-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | C·E·赫斯;劉燕維;熊亞林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/66 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 搜索關(guān)鍵詞： | 數(shù)據(jù)庫(kù) 檢驗(yàn) | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 數(shù)據(jù)庫(kù)
- 數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)及數(shù)據(jù)庫(kù)
- 數(shù)據(jù)庫(kù)構(gòu)筑裝置、數(shù)據(jù)庫(kù)檢索裝置、數(shù)據(jù)庫(kù)裝置、數(shù)據(jù)庫(kù)構(gòu)筑方法、以及數(shù)據(jù)庫(kù)檢索方法
- 數(shù)據(jù)庫(kù)和數(shù)據(jù)庫(kù)處理方法
- 數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)庫(kù)更新方法、數(shù)據(jù)庫(kù)以及數(shù)據(jù)庫(kù)更新程序
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