[發(fā)明專利]研磨用組合物、研磨方法及基板的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580015247.3 | 申請日： | 2015-03-09 |
| 公開（公告）號： | CN106103640B | 公開（公告）日： | 2020-03-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 大和泰之 | 申請（專利權(quán)）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 組合 方法 制造 | ||
【說明書】：
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