[發明專利]圖案位置誤差感知優化有效
| 申請號： | 201580014364.8 | 申請日： | 2015-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN106104384B | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發明（設計）人： | D-F·S·徐;賈建軍;劉曉峰;張翠平 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/36 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 位置 誤差 感知 優化 | ||
【說明書】：
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