[發明專利]計量光學量測方法及系統有效
| 申請號： | 201580013650.2 | 申請日： | 2015-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN106104202B | 公開（公告）日： | 2019-08-02 |
| 發明（設計）人： | 阿姆農·瑪納森;安迪（安德魯）·希爾;阿維·阿布拉莫夫 | 申請（專利權）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/25 | 分類號： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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【權利要求書】：
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