[發明專利]研磨墊及其制造方法在審
| 申請號： | 201580013166.X | 申請日： | 2015-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN106457509A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 清水紳司 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/24 | 分類號： | B24B37/24;C08G18/10;H01L21/304;C08G101/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司31100 | 代理人： | 馮雅;陳哲鋒 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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