[發明專利]濺射靶、光學功能膜及層疊配線膜有效
| 申請號： | 201580011616.1 | 申請日： | 2015-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN106062241B | 公開（公告）日： | 2019-10-18 |
| 發明（設計）人： | 齋藤淳;張守斌;鹽野一郎 | 申請（專利權）人： | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C04B35/00;C22C9/00;C22C9/05;C22C9/06;C22C27/04;C22C28/00;C22C38/00;C22C38/12;C23C14/08;G02B1/113 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 光學 功能 層疊 配線膜 | ||
【權利要求書】：
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