[發明專利]放射線敏感性樹脂組合物及電子部件有效
| 申請號： | 201580011556.3 | 申請日： | 2015-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN106062631B | 公開（公告）日： | 2019-11-22 |
| 發明（設計）人： | 堤隆志 | 申請（專利權）人： | 日本瑞翁株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/075 | 分類號： | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/023 |
| 代理公司： | 11413 北京柏杉松知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 袁波;劉繼富<國際申請>=PCT/JP2 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 放射線 敏感性 樹脂 組合 電子 部件 | ||
【說明書】：
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