[發明專利]導向閥結構和質量流控制器在審
| 申請號： | 201580010938.4 | 申請日： | 2015-02-11 |
| 公開（公告）號： | CN106030174A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發明（設計）人： | R·戈梅斯 | 申請（專利權）人： | MKS儀器公司 |
| 主分類號： | F16K31/34 | 分類號： | F16K31/34;F16K31/06 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆濤 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導向 結構 質量 控制器 | ||
【說明書】：
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