[發明專利]濺射靶有效
| 申請號: | 201580009968.3 | 申請日: | 2015-06-16 |
| 公開(公告)號: | CN106029943B | 公開(公告)日: | 2018-08-31 |
| 發明(設計)人: | 荒川篤俊;森下優斗 | 申請(專利權)人: | 捷客斯金屬株式會社 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;C22C5/04;C22C19/07;C22C32/00;G11B5/851 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人: | 胡嵩麟;王海川 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濺射 | ||
【權利要求書】:
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