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[發明專利]濺射靶有效

專利信息
申請號: 201580009968.3 申請日: 2015-06-16
公開(公告)號: CN106029943B 公開(公告)日: 2018-08-31
發明(設計)人: 荒川篤俊;森下優斗 申請(專利權)人: 捷客斯金屬株式會社
主分類號: C23C14/34 分類號: C23C14/34;C22C5/04;C22C19/07;C22C32/00;G11B5/851
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 代理人: 胡嵩麟;王海川
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 濺射
【權利要求書】:
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