[發(fā)明專利]新環(huán)二硅氮烷衍生物、其制備方法以及使用其的含硅薄膜有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580009061.7 | 申請(qǐng)日： | 2015-01-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106029679B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張世珍;楊炳日;金成基;金宗炫;金度延;李相道;昔壯衒;李相益;金銘云 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | DNF有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C07F7/10 | 分類號(hào)： | C07F7/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 顧晉偉;董文國(guó) |
| 地址： | 韓國(guó)大*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 新環(huán)二硅氮烷 衍生物 制備 方法 以及 使用 薄膜 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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