[發明專利]新環二硅氮烷衍生物、其制備方法以及使用其的含硅薄膜有效
| 申請號： | 201580009061.7 | 申請日： | 2015-01-08 |
| 公開（公告）號： | CN106029679B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 張世珍;楊炳日;金成基;金宗炫;金度延;李相道;昔壯衒;李相益;金銘云 | 申請（專利權）人： | DNF有限公司 |
| 主分類號： | C07F7/10 | 分類號： | C07F7/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 顧晉偉;董文國 |
| 地址： | 韓國大*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新環二硅氮烷 衍生物 制備 方法 以及 使用 薄膜 | ||
【說明書】：
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