[發明專利]提供壓力不敏感自我驗證的質量流量控制器的系統和方法有效
| 申請號： | 201580008399.0 | 申請日： | 2015-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN106104402B | 公開（公告）日： | 2020-03-24 |
| 發明（設計）人： | 丁軍華;M·拉巴錫 | 申請（專利權）人： | MKS儀器公司 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英;陳松濤 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 提供 壓力 敏感 自我 驗證 質量 流量 控制器 系統 方法 | ||
【說明書】：
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