[發明專利]漿料用氮化硅粉末及其制造方法、離型材用氮化硅粉末漿料及其制造方法、離型材用氮化硅粉末、離型材、以及多結晶硅鑄造用鑄模及其制造方法有效
| 申請號： | 201580008245.1 | 申請日： | 2015-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN105980299B | 公開（公告）日： | 2017-07-28 |
| 發明（設計）人： | 山尾猛;本田道夫;治田慎輔 | 申請（專利權）人： | 宇部興產株式會社 |
| 主分類號： | C01B21/068 | 分類號： | C01B21/068;B22C3/00;C01B33/02;C10M103/06;C10N40/36 |
| 代理公司： | 北京戈程知識產權代理有限公司11314 | 代理人： | 程偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 漿料 氮化 粉末 及其 制造 方法 離型材用 離型材 以及 結晶 鑄造 鑄模 | ||
1.一種漿料用氮化硅粉末，其是用于多結晶硅鑄造用鑄模的離型層形成用漿料的氮化硅粉末，其特征在于：
比表面積為5～50m2/g，非晶質氮化硅的比例為1.0～25.0質量％，含氧量為0.6～2.5質量％。
2.一種離型材用氮化硅粉末漿料，其是將權利要求1所述的漿料用氮化硅粉末與水進行混合而獲得。
3.一種離型材用氮化硅粉末，其是將權利要求1所述的漿料用氮化硅粉末與水進行混合而漿料化、其后使該漿料干燥所獲得的氮化硅粉末，且
含氧量為0.7～5.0質量％。
4.一種離型材，其是構成形成于多結晶硅鑄造用鑄模的離型層，其特征在于：
含有權利要求3所述的離型材用氮化硅粉末。
5.一種多結晶硅鑄造用鑄模，其中，在鑄模的內表面形成有由權利要求4所述的離型材所構成的離型層。
6.一種漿料用氮化硅粉末的制造方法，其是制造權利要求1所述的漿料用氮化硅粉末的方法，其中，
在選自不活性氣體及還原性氣體中的1種以上的氣體環境下，使用旋窯爐或者將1100～1400℃的溫度范圍中的升溫速度調整為10～1000℃/小時的批次爐或推式連續爐，對使含氮的硅烷化合物熱分解所獲得的比表面積為300～800m2/g的非晶質Si-N(-H)系化合物以1200～1400℃進行熱分解。
7.一種離型材用氮化硅粉末漿料的制造方法，其是將權利要求1所述的漿料用氮化硅粉末與水進行混合。
8.一種多結晶硅鑄造用鑄模的制造方法，其具備以下步驟：
漿料形成步驟，其是將權利要求1所述的漿料用氮化硅粉末與水進行混合而形成漿料；
漿料涂布步驟，其是將該漿料涂布于多結晶硅鑄造用鑄模表面；及
離型層形成步驟，其是使涂布于該鑄模表面的該漿料干燥而形成離型層。
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