[發明專利]圖案形成方法、蝕刻方法、電子元件的制造方法及電子元件在審
| 申請號： | 201580007419.2 | 申請日： | 2015-02-04 |
| 公開（公告）號： | CN105980936A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 上羽亮介;井口直也;山中司;丹吳直纮;白川三千纮;加藤啟太 | 申請（專利權）人： | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/40 | 分類號： | G03F7/40;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 馬爽;臧建明 |
| 地址： | 日本東京港區*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 形成 方法 蝕刻 電子元件 制造 | ||
【權利要求書】：
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