[發明專利]具有改善的切割性能的圖像傳感器、其制造裝置及制造方法

有效

• 申請號: 201580002735.0
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN105793988B
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 山本篤志;宮澤信二;大岡豐;前田兼作;守屋雄介;小川尚紀;藤井宣年;古瀨駿介;長田昌也;山本雄一
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 梁興龍;曹正建

1.一種圖像傳感器，包括：

基板；

疊置在所述基板上的多個層；

所述多個層包括光電二極管層，多個光電二極管形成在所述光電二極管層的表面上；

所述多個層包括形成有凹槽的至少一個層，使得所述至少一個層的一部分被挖掘；和

形成在所述光電二極管層的上方并形成在所述凹槽中的透明樹脂層，

其中，所述圖像傳感器還包括形成在所述凹槽中的疏水膜。

2.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述凹槽的寬度大于劃線刀片的寬度。

3.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述凹槽包括所述光電二極管層的一部分，所述光電二極管層的該部分被挖掘。

4.如權利要求1所述的圖像傳感器，其中所述凹槽包括所述基板的一部分，所述基板的該部分被挖掘。

5.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括形成在所述凹槽中的鈍化膜。

6.如權利要求5所述的圖像傳感器，還包括形成在所述光電二極管層上方的微透鏡層，其中所述鈍化膜形成在所述微透鏡層上。

7.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括形成在所述透明樹脂層中的肋部。

8.如權利要求7所述的圖像傳感器，還包括形成在所述凹槽和所述肋部中的鈍化膜。

9.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括第一和第二貫通電極，其中第一和第二貫通電極均具有側壁保護部，和其中所述凹槽包括所述側壁保護部的至少一部分。

10.如權利要求9所述的圖像傳感器，還包括填充所述凹槽的第二貫通電極的材料。

11.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

形成在所述光電二極管層上方的透明樹脂層；

形成在所述透明樹脂層上的透明元件；和

形成在所述凹槽中的防濕膜；

其中所述凹槽包括所述透明元件的層的被挖掘部。

12.如權利要求1所述的圖像傳感器，還包括：

形成在所述光電二極管層上方的透明樹脂層；和

形成在所述透明樹脂層上的透明元件；

其中所述凹槽延伸到所述基板的底面，所述透明元件覆蓋所述凹槽的側面，并且所述透明樹脂層形成在所述透明元件和所述基板的側面之間。

13.一種圖像傳感器，包括：

疊置的多個層；

所述多個層包括光電二極管層，多個光電二極管形成在所述光電二極管層的表面上；

形成在所述光電二極管層上方的透明樹脂層；

形成在所述透明樹脂層中的肋部；和

形成在所述肋部的底面以及所述肋部和所述透明樹脂之間的防濕膜。

14.如權利要求13所述的圖像傳感器，還包括形成在所述透明樹脂層上的透明元件，其中所述防濕膜形成在所述透明元件和所述透明樹脂層之間。

15.如權利要求13所述的圖像傳感器，其中所述防濕膜包括疊置的折射率不同的多個膜。

16.如權利要求13所述的圖像傳感器，其中所述肋部是吸收特定光的材料。