[發(fā)明專利]兩步光致抗蝕劑組合物以及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580002527.0
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN107087426A
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 亞歷克斯·菲利普·格雷厄姆·羅賓遜;艾倫·布朗;安德烈亞斯·弗羅姆霍爾德;湯姆·拉達(dá)
• 申請（專利權(quán)）人: 亞歷克斯·菲利普·格雷厄姆·羅賓遜;艾倫·布朗;安德烈亞斯·弗羅姆霍爾德;湯姆·拉達(dá)
• 主分類號: G03F7/038
• 分類號: G03F7/038;G03F7/16
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11262
• 代理人: 張瑞,鄭霞

1.一種兩步光致抗蝕劑組合物，該組合物包含：

a.至少一種聚合物、低聚物或單體，包括附接至對酸敏感的離去基團(tuán)的可交聯(lián)的官能度，

b.至少一種交聯(lián)體系，以及

c.至少一種酸生成劑，

其中該對酸敏感的離去基團(tuán)當(dāng)暴露于酸時能夠被去除，從而提供能夠與自身和/或該交聯(lián)體系交聯(lián)的官能度。

2.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中該對酸敏感的基團(tuán)包含叔烷氧基羰基。

3.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中該至少一種光致酸生成劑包含鎓鹽化合物、三苯基锍鎓鹽、砜酰亞胺化合物、含鹵素化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、醌-二疊氮化合物、重氮甲烷化合物、碘鎓鹽、肟磺酸酯、或二羧基酰亞胺基硫酸鹽。

4.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中該至少一種交聯(lián)體系包含一種酸敏單體或聚合物。

5.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中該至少一種交聯(lián)體系包含縮水甘油醚、縮水甘油酯、縮水甘油胺、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、芐氧基甲基、二甲基氨基甲基、二乙基氨基甲基、二丁氧基甲基、二羥甲基氨基甲基、二羥乙基氨基甲基、二羥丁基氨基甲基、嗎啉代甲基、乙酰氧基甲基、芐氧基甲基、甲酰基、乙?；?、乙烯基或異丙烯基中的至少一種。

6.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中該至少一種交聯(lián)體系包含一個或多個附接到酚醛清漆樹脂的縮水甘油醚基團(tuán)。

7.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中光成像在處理時具有改進(jìn)的對比度、分辨率和/或線邊緣粗糙度。

8.如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑，進(jìn)一步包含至少一種富勒烯材料。

9.如權(quán)利要求8所述的光致抗蝕劑組合物，其中該至少一種富勒烯包含：

a.至少一種包含以下通式的亞甲基富勒烯：

其中x是至少10，y是1-6，n是0-1，烷基是一個支鏈或無支鏈的、取代或未取代的具有1-16個碳、具有0-16個取代進(jìn)入鏈中的雜原子的二價烷基鏈，芳基是一個取代或未取代的二價苯基、二價雜芳族基團(tuán)、或二價稠合芳族基團(tuán)或稠合雜芳族基團(tuán)，并且其中每個R是相同的或不同的并且為H或一個對酸敏感的基團(tuán)。

10.如權(quán)利要求9所述的光致抗蝕劑組合物，其中該二價烷基鏈包含亞甲基、亞乙基、1,2-亞丙基或1,3-亞丙基，并且其中該二價烷基鏈任選地包含氟原子。

11.一種在襯底上形成圖案化的抗蝕劑層的方法，該方法包括以下步驟：

a.提供一個襯底，

b.施用如權(quán)利要求1所述的光致抗蝕劑組合物直到所希望的濕厚度，

c.加熱該涂覆的襯底以形成一個基本上干燥的涂層以獲得所希望的厚度，

d.將該涂覆的襯底成像暴露于光化輻射，

e.任選地加熱該成像暴露的涂覆的襯底，并且

f.使用一種水性或非水性顯影劑組合物移除該涂層的未曝光區(qū)域；

其中任選地加熱該剩余的光成像。

12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該對酸敏感的基團(tuán)包含叔烷氧基羰基。

13.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該至少一種光致酸生成劑包含鎓鹽化合物、三苯基锍鎓鹽、砜酰亞胺化合物、含鹵素化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、醌-二疊氮化合物、重氮甲烷化合物、碘鎓鹽、肟磺酸酯、或二羧基酰亞胺基硫酸鹽。

14.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該至少一種交聯(lián)體系包含一種酸敏單體或聚合物。

15.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該至少一種交聯(lián)體系包含縮水甘油醚、縮水甘油酯、縮水甘油胺、甲氧基甲基、乙氧基甲基、丁氧基甲基、芐氧基甲基、二甲基氨基甲基、二乙基氨基甲基、二丁氧基甲基、二羥甲基氨基甲基、二羥乙基氨基甲基、二羥丁基氨基甲基、嗎啉代甲基、乙酰氧基甲基、芐氧基甲基、甲?；?、乙?；?、乙烯基或異丙烯基中的至少一種。

16.如權(quán)利要求11所述的方法，其中該至少一種交聯(lián)體系包含一個或多個附接到酚醛清漆樹脂的縮水甘油醚基團(tuán)。