[發明專利]帶通聲學濾波器及聲學感測裝置

有效

• 申請號: 201580001223.2
• 申請日: 2015-10-30
• 公開（公告）號: CN105493522B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 鄒泉波
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 楊國權;黃錦陽

本發明公開了一種帶通聲學濾波器及聲學感測裝置。所述帶通聲學濾波器包括：至少兩個MEMS麥克風芯片以及ASIC芯片，其中，所述MEMS麥克風芯片的輸出信號經耦合后在ASIC芯片中被處理。

技術領域

本發明涉及MEMS麥克風技術，更具體地說，涉及一種帶通聲學濾波器和聲學感測裝置。

背景技術

在現有技術中，MEMS(微機電系統)麥克風是基于MEMS技術制造的麥克風。一般來說，MEMS麥克風包括MEMS麥克風芯片和集成電路(ASIC)，用于將接收的聲波，轉化為聲音電信號。

典型地，MEMS麥克風芯片在高頻側具有諧振頻率。該諧振頻率可以取決于由前腔(或后腔)形成的亥姆霍茲諧振器、振動膜的諧振頻率等因素。

一般來說，所述MEMS麥克風芯片具有窄的諧振頻率帶寬。此外，由于制造容限，所述諧振頻率是不確定的。因此，在現有技術中，不將所述MEMS麥克風芯片直接用于檢測某個頻率的聲音。

在現有技術中，在ASIC中設置濾波器，對聲音電信號進行濾波。但是，由于需要額外的電子組件，因此，麥克風的信噪比會劣化。此外，這些額外的電子組件也會帶來額外的產品復雜度。例如，需要制造片上電容、片上電阻等。

發明內容

本發明的一個目的是提供一種用于帶通聲學濾波器的新技術方案。

根據本發明的一個實施例，提供了一種帶通聲學濾波器，包括：至少兩個MEMS麥克風芯片；以及ASIC芯片，其中，所述MEMS麥克風芯片的輸出信號經耦合后在ASIC芯片中被處理。

優選地，所述MEMS麥克風芯片中的每一個被安裝在基板的聲學孔上。

優選地，所述濾波器還包括金屬殼體，用于形成所述MEMS麥克風芯片的后腔，其中，所述MEMS麥克風芯片通過所述后腔被聲學耦合。

優選地，所述濾波器還包括基板，其中，所述金屬殼體和所述基板一起形成密閉的后腔。

優選地，所述輸出信號通過串聯方式被耦合。

優選地，每個MEMS麥克風芯片的諧振頻率通過設置MEMS麥克風芯片的振動膜諧振頻率、前腔尺寸和聲學開口尺寸中的至少一個被調整。

根據本發明的一個實施例，提供了一種聲學感測裝置，包括根據本發明的帶通聲學濾波器，用于感測聲波。

優選地，所述聲波包括超聲波。

優選地，所述聲學感測裝置是麥克風。

另外，本領域技術人員應當理解，盡管現有技術中存在許多問題，但是，本發明的每個實施例或權利要求的技術方案可以僅在一個或幾個方面進行改進，而不必同時解決現有技術中或者背景技術中列出的全部技術問題。本領域技術人員應當理解，對于一個權利要求中沒有提到的內容不應當作為對于該權利要求的限制。

通過以下參照附圖對本發明的示例性實施例的詳細描述，本發明的其它特征及其優點將會變得清楚。

附圖說明

被結合在說明書中并構成說明書的一部分的附圖示出了本發明的實施例，并且連同其說明一起用于解釋本發明的原理。

圖1示出了根據本發明的一個實施例的帶通聲學濾波器的示意圖。

圖2示出了用于說明根據一個實施例的帶通聲學濾波器的效果的示意性曲線圖。

圖3示出了用于說明根據另一個實施例的帶通聲學濾波器的效果的示意性曲線圖。

圖4示出了根據本發明的一個實施例的聲學感測裝置的示意圖。

具體實施方式