[發明專利]帶載體極薄銅箔和使用該帶載體極薄銅箔制造的覆銅層壓板、印制電路板以及無核基板有效
| 申請號: | 201580001218.1 | 申請日: | 2015-01-23 |
| 公開(公告)號: | CN105378150B | 公開(公告)日: | 2018-06-22 |
| 發明(設計)人: | 藤田諒太;宇野岳夫 | 申請(專利權)人: | 古河電氣工業株式會社 |
| 主分類號: | C25D1/22 | 分類號: | C25D1/22;C25D1/04;H05K1/09 |
| 代理公司: | 北京思益華倫專利代理事務所(普通合伙) 11418 | 代理人: | 郭紅麗;常殿國 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 極薄銅箔 載體箔 剝離面 撕下 覆銅層壓板 擴散防止層 印制電路板 俄歇電子 深度位置 分母 剝離層 層壓 分光 加熱 分析 制造 | ||
1.一種帶載體極薄銅箔,其是在載體箔上依次層壓擴散防止層、剝離層以及極薄銅箔而形成,所述帶載體極薄銅箔的特征在于,
所述剝離層含有Cu,并且由含有選自Mo、W、Fe、Co及Ni的至少一種元素的銅合金構成,從未加熱的所述帶載體極薄銅箔上撕下載體箔,并利用俄歇電子分光分析法、即AES對撕下的載體箔的剝離面進行深度方向組成分析,以Cu、Co、Mo、Ni、Fe、W、C以及O作為分母時的、距離所述剝離面15nm以內的深度位置處存在的Cu的元素比例的最大值為9at.%~91at.%。
2.根據權利要求1所述的帶載體極薄銅箔,其中,從在220℃下進行1小時熱處理后的帶載體極薄銅箔撕下載體箔時的20℃下的抗撕強度T1小于0.02kN/m,并且,從在350℃下進行10分鐘熱處理后的帶載體極薄銅箔撕下載體箔時的20℃下的抗撕強度T2為0.02kN/m~0.1kN/m。
3.根據權利要求2所述的帶載體極薄銅箔,其中,在350℃下進行10分鐘熱處理后的20℃下的所述抗撕強度T2、與在220℃下進行1小時熱處理后的20℃下的所述抗撕強度T1之差、即T2-T1在0.015kN/m~0.080kN/m的范圍內。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的帶載體極薄銅箔,其中,所述擴散防止層由Fe、Ni、Co或者這些元素形成的合金形成。
5.一種覆銅層壓板,其使用權利要求1至3中任一項所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
6.一種印制電路板,其使用權利要求1至3中任一項所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
7.一種無核基板,其使用權利要求1至3中任一項所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
8.一種覆銅層壓板,其使用權利要求4所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
9.一種印制電路板,其使用權利要求4所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
10.一種無核基板,其使用權利要求4所述的帶載體極薄銅箔進行制造。
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