[發(fā)明專利]微發(fā)光二極管的轉移方法、制造方法、裝置和電子設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580001216.2
• 申請日: 2015-07-14
• 公開（公告）號: CN105493298B
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設計）人: 鄒泉波;王喆
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/62
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 楊國權;馬佑平

本發(fā)明公開了一種微發(fā)光二極管的轉移方法、制造方法、裝置和電子設備。該用于微發(fā)光二極管轉移的方法包括：在激光透明的原始襯底上形成微發(fā)光二極管，其中，該微發(fā)光二極管是橫向微發(fā)光二極管，其中該橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極位于同一側；使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸；以及從原始襯底側用激光照射原始襯底，以從原始襯底剝離橫向微發(fā)光二極管。采用橫向微發(fā)光二極管的一個效果在于，可以省略微發(fā)光二極管轉移之后的N金屬電極處理。

技術領域

本發(fā)明涉及用于顯示的微發(fā)光二極管，更具體地，涉及一種用于微發(fā)光二極管轉移的方法、一種用于制造微發(fā)光二極管裝置的方法、一種微發(fā)光二極管裝置以及一種包含微發(fā)光二極管裝置的電子設備。

背景技術

微發(fā)光二極管(Micro LED)技術是指在襯底上以高密度集成的微小尺寸的LED陣列。目前，微發(fā)光二極管技術正開始發(fā)展，工業(yè)界正期待有高品質的微發(fā)光二極管產品進入市場。高品質微發(fā)光二極管產品會對市場上已有的諸如LCD/OLED的傳統(tǒng)顯示產品產生深刻影響。

在制造微發(fā)光二極管的過程中，首先在施主晶圓上形成微發(fā)光二極管，接著將微發(fā)光二極管轉移到接受襯底上。接受襯底例如是顯示屏。

在制造微發(fā)光二極管過程中的一個困難在于如何將微發(fā)光二極管從施主晶圓上轉移到接受襯底上。在現有技術中，一般通過靜電拾取的方式來執(zhí)行所述轉移。在靜電拾取的過程中需要使用轉移頭陣列。轉移頭陣列的結構相對復雜，并需要考慮它的可靠性。制造轉移頭陣列需要額外的成本。在利用轉移頭陣列的拾取之前需要產生相位改變。另外，在使用轉移頭陣列的制造過程中，微發(fā)光二極管用于相位改變的熱預算受到限制，通常小于350℃，或者更具體地，小于200℃；否則，微發(fā)光二極管的性能會劣化。在使用轉移頭陣列的制造過程中通常需要兩次轉移，即，從施主晶圓到承載晶圓的轉移以及從承載晶圓到接受襯底的轉移。

美國專利US 8,333,860 B1公開了一種用于傳送微器件的傳送頭陣列，其中通過向傳送頭中的電極施加電壓來拾取微器件。該專利在此全部引入作為參考。

美國專利US 8,426,227B1公開了一種用于形成微發(fā)光二極管陣列的方法，其中，使用傳送頭來將微發(fā)光二極管陣列轉移到接受襯底上。該專利在此全部引入作為參考。

發(fā)明內容

本發(fā)明的一個目的是提供一種用于微發(fā)光二極管轉移的新技術方案。

根據本發(fā)明的一個實施例，提供了一種用于微發(fā)光二極管轉移的方法，包括：在激光透明的原始襯底上形成微發(fā)光二極管，其中，該微發(fā)光二極管是橫向微發(fā)光二極管，其中該橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極位于同一側；使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸；以及從原始襯底側用激光照射原始襯底，以從原始襯底剝離橫向微發(fā)光二極管。

優(yōu)選地，所述方法還包括：在接收襯底上設置各向異性導電層。優(yōu)選地，經由各向異性導電層使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸。優(yōu)選地，所述方法還包括：對各向異性導電層進行處理，使得橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上的接墊電連接。

優(yōu)選地，各向異性導電層是各向異性導電膜、各向異性導電漿和各向異性導電膠帶中的至少一種。

優(yōu)選地，利用重力作用，使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸。

優(yōu)選地，利用靜電力的作用，使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸。

優(yōu)選地，通過向所述接墊施加電壓來施加所述靜電力。

優(yōu)選地，橫向微發(fā)光二極管中包含磁性物質，以及利用電磁力的作用，使橫向微發(fā)光二極管的P電極和N電極與接收襯底上預先設置的接墊接觸。