[實用新型]一種鎖模紫外激光器的產生裝置

有效

• 申請號: 201521141448.1
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN205389052U
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發明（設計）人: 范榕華;郭邦紅;郭建軍;張文杰;張盼盼;張立濤;王鈺
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: H01S3/108
• 分類號: H01S3/108;H01S3/109;H01S3/11;H01S3/16;H01S3/0941
• 代理公司: 廣州圣理華知識產權代理有限公司 44302
• 代理人: 頓海舟;王鴿

1.一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，包括泵浦光源、諧振腔單元、倍頻單元和輸出單元，其中：

所述諧振腔單元用于產生1064nm鎖模激光，其包括第一耦合透鏡、第二耦合透鏡、平凹鏡、平面鏡、正釩酸釔晶體、半導體可飽和吸收鏡和第一反射鏡；

所述倍頻單元用于產生355nm激光，其包括第二反射鏡、二倍頻模塊、三倍頻模塊、第三反射鏡和吸收板；

所述輸出單元用于調整光束質量，其包括第四反射鏡、柱面鏡、球面鏡和窗口片；

所述泵浦光源產生激光脈沖并輸入至諧振腔單元，并依次第一耦合透鏡、第二耦合透鏡、平凹鏡、正釩酸釔晶體、平面鏡、半導體可飽和吸收鏡和第一反射鏡后產生鎖模激光再輸入到所述倍頻單元；

所述鎖模激光進入到倍頻單元后，依次經過第二反射鏡、二倍頻模塊、三倍頻模塊、第三反射鏡和吸收板后進倍頻后得到的355nm激光進入到輸出單元，在輸出單元中依次經過所述第四反射鏡、柱面鏡和球面鏡，最后從所述窗口片輸出紫外鎖模激光。

2.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述泵浦光源為激光二極管，其在室溫下中心波長為808nm。

3.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述第一反射鏡為1064nm反射鏡。

4.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述平凹鏡為內側凹面鍍808nm高反膜的反射鏡，可透射1064nm。

5.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述半導體可飽和吸收鏡以非線性效應作為鎖模機制。

6.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述二倍頻模塊和三倍頻模塊均包括凸透鏡和三硼酸鋰晶體。

7.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述第二反射鏡、第三反射鏡和第四反射鏡均為355nm反射鏡，用于改變光路方向。

8.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述柱面鏡采用非球面透鏡。

9.如權利要求1所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述球面鏡包括第一透鏡和第二透鏡，且所述第一透鏡和第二透鏡均采用光學鍍膜玻璃透鏡。

10.如權利要求9所述的一種鎖模紫外激光器的產生裝置，其特征在于，所述第二透鏡采用雙膠合消像差透鏡。