[實(shí)用新型]一種硅片分片裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201521138429.3 | 申請日: | 2015-12-31 |
| 公開(公告)號(hào): | CN205303426U | 公開(公告)日: | 2016-06-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 邱文良 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州博陽能源設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王華 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 分片 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種硅片分片裝置,屬于太陽能電池片制備附屬設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)
21世紀(jì)以來,全球能源消費(fèi)急劇攀升,傳統(tǒng)化石能源日益枯竭,能源問題和環(huán)境問題逐漸成為全球關(guān)注的兩大重點(diǎn)問題。迫于可持續(xù)發(fā)展的壓力,各主要國家紛紛將太陽能光伏產(chǎn)業(yè)列入可再生能源開發(fā)利用的重點(diǎn)。伴隨著我國成為世界第二經(jīng)濟(jì)體,2013年10月,中國10月石油進(jìn)口量達(dá)到每日630萬桶,超過美國的每日624萬桶,首次取代美國成為全球最大石油凈進(jìn)口國。2013年,中國石油和天然氣的對外依存度分別達(dá)到58.1%和31.6%,中國已成為全球第三大天然氣消費(fèi)國。傳統(tǒng)化石能源已越來越難以滿足我國國民經(jīng)濟(jì)的旺盛需求。在過去的20年中全球大約有75%左右的人為二氧化碳排放量來源于化石燃料燃燒。因此,不管是從低碳環(huán)保的能源發(fā)展角度,還是順應(yīng)我國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí)與轉(zhuǎn)型壓力,我國必須加快發(fā)展新能源產(chǎn)業(yè)。
太陽能屬于清潔可再生能源。根據(jù)歐盟委員會(huì)提出的“歐洲可再生能源技術(shù)戰(zhàn)略計(jì)劃”,到2020年,太陽能將占?xì)W盟電力需求的15%。2010年,美國能源部制定規(guī)劃,計(jì)劃到2030年,太陽能占總能源消費(fèi)量的10%~15%。從世界范圍內(nèi)的太陽能和潮汐能合計(jì)凈發(fā)電量看,中國為30億千瓦時(shí),德國為190億干瓦時(shí),意大利為107億干瓦時(shí),西班牙為91億千瓦時(shí),日本為38億千瓦時(shí)。未來我國水電增長空間有限,核能存在不安全因素。化石能源受節(jié)能減排約束成本將上升,太陽能光伏發(fā)電的市場前景廣闊。
單晶硅片的加工包括單晶硅棒先開方,再切片,多晶硅片的加工包括多晶硅錠切割,再切片,準(zhǔn)單晶硅片的加工包括準(zhǔn)單晶硅錠切割,再切片。總而言之,切片是晶體硅太陽能電池片加工工藝中必不可少的工藝之一。切片后得到的硅片層疊在一起,需要分片后插入硅片承載盒中進(jìn)行運(yùn)輸,由于硅片具有薄、脆的特點(diǎn),因此分片、插片的難度很大。
公開號(hào)為CN103681968A的發(fā)明專利申請,公開了一種硅片自動(dòng)插片機(jī),其采用吸盤抓取硅片以進(jìn)行分片、插片,由于吸盤抓取硅片的動(dòng)作為不連續(xù)的操作,因此存在分片效率低的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型目的是提供一種硅片分片裝置。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種硅片分片裝置,包括分片機(jī)構(gòu)和供料槽;所述分片機(jī)構(gòu)包括包括硅片分片機(jī)構(gòu)本體,該硅片分片機(jī)構(gòu)本體向下設(shè)有兩個(gè)平行且間隔設(shè)置的分片輸送帶,所述硅片分片機(jī)構(gòu)本體朝向所述分片輸送帶設(shè)有氣孔,該氣孔通過管路與抽氣裝置連通;所述分片輸送帶的輸送方向的前端設(shè)有滾輪;所述供料槽包括供料槽槽體和水泵,所述供料槽槽體設(shè)有溢流口,該溢流口通過管路與一儲(chǔ)液槽連通;所述供料槽槽體內(nèi)設(shè)有用以盛放堆垛硅片的承托平臺(tái),該承托平臺(tái)與一上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)部傳動(dòng)連接;所述供料槽槽體上設(shè)有液壓傳感器,該液壓傳感器與一計(jì)算機(jī)數(shù)控系統(tǒng)信號(hào)連接,所述計(jì)算機(jī)數(shù)控系統(tǒng)與所述水泵電連接;所述供料槽槽體內(nèi)容納有液體,液體的深度總是大于堆垛硅片的高度;所述承托平臺(tái)對應(yīng)所述分片輸送帶設(shè)置。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述分片輸送帶為同步帶。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述同步帶套設(shè)在主動(dòng)輪和從動(dòng)輪上,所述主動(dòng)輪與驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述驅(qū)動(dòng)裝置為一驅(qū)動(dòng)馬達(dá),該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸與所述主動(dòng)輪通過帶傳動(dòng)。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述硅片分片機(jī)構(gòu)本體在所述分片輸送帶的輸送方向的前端設(shè)有滾輪固定板,該滾輪固定板朝下設(shè)有抽氣氣孔,該抽氣氣孔通過管路與抽氣裝置連通;所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)支撐于所述滾輪固定板上。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述硅片分片機(jī)構(gòu)本體上設(shè)有一封閉的氣腔,該氣腔朝向所述分片輸送帶的方向設(shè)有若干個(gè)氣孔,所述氣腔固定有氣嘴,該氣嘴通過管路與抽氣裝置連通。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述上下移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置為絲杠螺母機(jī)構(gòu)。
優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述水泵的進(jìn)水口通過管路與所述儲(chǔ)液槽連通,所述水泵的出水口通過管路與所述供料槽槽體連通。
由于上述技術(shù)方案運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)和效果:
本實(shí)用新型在分片時(shí),具有分片效率高、對硅片損害小的優(yōu)點(diǎn)。
附圖說明
附圖1為硅片分片機(jī)構(gòu)立體示意圖。
附圖2為硅片分片機(jī)構(gòu)仰視示意圖。
附圖3為硅片分片機(jī)構(gòu)俯視示意圖。
附圖4為硅片分片機(jī)構(gòu)側(cè)視示意圖。
附圖5為硅片分片機(jī)構(gòu)后視示意圖。
附圖6為供料槽示意圖。
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H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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