[實(shí)用新型]一種石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521137005.5
• 申請(qǐng)日: 2015-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN205376536U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白德旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 白德旭
• 主分類號(hào): H01L29/78
• 分類號(hào): H01L29/78;H01L29/12;H01L29/10
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• 代理人: 暫無信息

1.一種石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管包括設(shè)置在柔性基底(1)形成的凹槽中的石墨烯層(2)和柵極電介質(zhì)層(5)，設(shè)置在石墨烯層(2)形成的凹槽兩側(cè)的源極電極(3)和漏極電極(4)，和設(shè)置在柵極電介質(zhì)層(5)形成凹槽中的柵極電極(6)；

其中，所述柵極電介質(zhì)層(5)設(shè)置在所述源極電極(3)和漏極電極(4)與柵極電極(6)之間以將源極電極和漏極電極(4)與柵極電極(6)隔開。

2.如權(quán)利要求1所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述石墨烯層(2)形成的凹槽的橫截面呈梯形或弧形，所述源極電極(3)和漏極電極(4)彼此分離地相對(duì)設(shè)置在所述梯形或弧形的兩側(cè)。

3.如權(quán)利要求1所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述柔性基底(1)形成的凹槽的開口、所述石墨烯層(2)形成的凹槽的開口和所述柵極電介質(zhì)層(5)形成的凹槽的開口均朝向同一方向。

4.如權(quán)利要求2或3所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述源極電極(3)、漏極電極(4)和柵極電極(6)均至少有一部分通過所述柔性基底(1)形成的凹槽的開口以露出所述柔性基底(1)的表面。

5.如權(quán)利要求4所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述源極電極(3)和/或所述漏極電極(4)的橫截面呈平行四邊形、三角形和/或梯形。

6.如權(quán)利要求5所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述柵極電介質(zhì)層(5)包括氧化鈦層、氧化鋯層和/或氧化鋁層。

7.如權(quán)利要求6所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述柵極電介質(zhì)層(5)為氧化鋁層。

8.如權(quán)利要求5至7之一所述的石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其特征在于，所述柔性基底(1)為非水溶性樹脂薄膜，所述柔性基底(1)的厚度為2-5μm。