[實(shí)用新型]一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521136626.1
• 申請(qǐng)日: 2015-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN205368484U
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石春放;黃紅勇;段小燕;段巧琴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市鑫景源科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/14
• 分類號(hào): C23C14/14;C23C14/08;C23C28/00
• 代理公司: 深圳市興科達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44260
• 代理人: 杜啟剛

[技術(shù)領(lǐng)域]

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜，尤其涉及一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)。

[背景技術(shù)]

傳統(tǒng)的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)在基材上真空鍍ZrCN膜或ALN膜，其中ZrCN膜采用多弧離子鍍，ALN膜采用磁控濺射鍍。以上的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)存在以下缺點(diǎn)：

1.鍍制的ZrCN膜，被人手觸摸之后，手印很難擦拭干凈，同時(shí)其膜層會(huì)被手汗腐蝕產(chǎn)生變色。

2.ZrCN膜層采用多弧離子鍍，鏡面效果的工件采用該工藝時(shí)，因等離子體的能量過高，會(huì)使鏡面發(fā)麻、發(fā)蒙。

3.鍍制ALN膜層的工件暴露在空氣中時(shí)，其膜層中的Al很容易被空氣中的氧氣氧化，致膜層產(chǎn)生變色。

4.ZrCN與ALN的膜系結(jié)構(gòu)，其LAB中的B值不夠小，即顏色不夠艷麗。

[發(fā)明內(nèi)容]

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種手印容易擦拭、不易變色的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，一種藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，包括基材、藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜，AF透明保護(hù)膜覆蓋在藍(lán)色膜的頂面；藍(lán)色膜覆蓋在基材的頂面。

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，所述的基材為金屬基材或陶瓷基材。

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，包括Cr底膜和過渡膜，Cr底膜鍍?cè)诨牡捻斆妫^渡膜鍍?cè)贑r底膜的頂面，藍(lán)色膜鍍?cè)谶^渡膜的頂面，藍(lán)色膜鍍?cè)诨牡捻斆妗?/p>

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，所述的藍(lán)色膜是TinO膜。

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，Cr底膜的厚度為0.1-1.0μm。

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，過渡膜的厚度為0.1-0.3μm。

以上所述的藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，AF透明保護(hù)膜的厚度為100-500nm。

本實(shí)用新型藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的手印容易擦除、膜層不易變色。

[附圖說明]

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖1中，1-基材，2-Cr底膜，3-Cr-Ti過渡膜，4-TinO藍(lán)色膜，5-AF透明保護(hù)膜。

[具體實(shí)施方式]

本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括基材、Cr底膜、Cr-Ti過渡膜、TinO藍(lán)色膜和AF透明保護(hù)膜。基材可以是金屬基材或陶瓷基材。

本實(shí)用新型實(shí)施例藍(lán)色真空鍍膜結(jié)構(gòu)，通過以下步驟完成：

101、把工件放置到磁控濺射鍍膜機(jī)的真空室中,真空室中充入氬氣；

102、采用真空磁控濺射方式在工件的基材表面鍍制Cr底膜；

103、采用真空磁控濺射方式在Cr底膜上鍍制Cr-Ti過渡膜；

104、采用真空磁控濺射方式在Cr-Ti過渡膜上鍍制TinO藍(lán)色膜；

105、采用真空蒸鍍方式在TinO藍(lán)色膜上鍍制AF透明保護(hù)膜。

其中，Cr底膜可以增加膜層與基材的結(jié)合力；過渡膜層可增加膜層的結(jié)合力，同時(shí)逐步生產(chǎn)的多膜層結(jié)構(gòu)，可提高膜層的致密度。

TinO藍(lán)色膜顏色的LAB值范圍為：L為35至70，A為-10至3，B為-5至-30。

本實(shí)用新型以上實(shí)施例相比于現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

相比單膜系鍍膜，采用多膜層逐層鍍膜的膜系結(jié)構(gòu)，使膜層更致密。采用Ti靶鍍制藍(lán)色膜層，其膜層顏色中的B值可以做到-30左右，相對(duì)Zr靶與Al靶鍍制的顏色，此顏色更艷麗。在工藝最后階段增加AF膜層，有效保護(hù)藍(lán)色膜層，使復(fù)合膜層具有防指紋、不易變色的特性。