[實用新型]一種石墨框承載裝置有效
| 申請號： | 201521134384.2 | 申請日： | 2015-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN205275698U | 公開（公告）日： | 2016-06-01 |
| 發明（設計）人： | 張春華;陳佳男;衡陽;鄭旭然;李棟;孟祥熙 | 申請（專利權）人： | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/34 | 分類號： | C23C16/34;C23C16/458;H01L31/18;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陸金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 承載 裝置 | ||
1.一種石墨框承載裝置，包括石墨框本體，石墨框本體內設有復數條橫豎交錯的承載 條，構成復數個石墨框網格，其特征在于：在位于石墨框本體中央的橫豎交錯的承載條中， 至少有3條相互垂直的承載條的寬度為12～16mm，其余承載條的寬度為6～8mm。
2.根據權利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述石墨框本體的長度為1691 ～1760mm；
所述石墨框本體的左右兩側各設置有兩個對稱分布的U型定位孔。
3.根據權利要求2所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述U型定位孔由長方形和半 圓形通孔組成，長方形通孔的長度為1～70mm，寬度為5～8mm；半圓形通孔的直徑為5～8mm， 且半圓形通孔的直徑與長方形通孔的寬度相等。
4.根據權利要求3所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述長方形通孔的長度為 60mm，寬度為7mm；半圓形通孔的直徑為7mm。
5.根據權利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述石墨框網格為具有倒角的 正方形孔。
6.根據權利要求5所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述正方形孔的寬度為126～ 126.9mm。
7.根據權利要求6所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述正方形孔的寬度為 126.7mm。
8.根據權利要求2所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述石墨框本體的長度為 1750mm。
9.根據權利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述承載條上設有用于支撐硅 片的掛鉤。
10.根據權利要求1所述的石墨框承載裝置，其特征在于：所述石墨框本體上分布有6× 12個石墨網格。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
