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[實用新型]反射型合成孔徑數(shù)字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201521133673.0 申請日: 2015-12-30
公開(公告)號: CN205562427U 公開(公告)日: 2016-09-07
發(fā)明(設計)人: 姜宏振;鄭芳蘭;劉勇;劉旭;李東;楊一;陳竹;任寰;張霖;周信達;鄭垠波;原泉;石振東;巴榮聲;李文洪;于德強;袁靜;丁磊;馬可;馬玉榮;馮曉璇;陳波;楊曉瑜 申請(專利權)人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
主分類號: G01N21/95 分類號: G01N21/95
代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 代理人: 趙宇
地址: 621900*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 反射 合成 孔徑 數(shù)字 全息 光學 元件 表面 檢測 裝置
【說明書】:
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