[實用新型]反射型合成孔徑數(shù)字全息術的光學元件表面疵病檢測裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201521133673.0 | 申請日: | 2015-12-30 |
| 公開(公告)號: | CN205562427U | 公開(公告)日: | 2016-09-07 |
| 發(fā)明(設計)人: | 姜宏振;鄭芳蘭;劉勇;劉旭;李東;楊一;陳竹;任寰;張霖;周信達;鄭垠波;原泉;石振東;巴榮聲;李文洪;于德強;袁靜;丁磊;馬可;馬玉榮;馮曉璇;陳波;楊曉瑜 | 申請(專利權)人: | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號: | G01N21/95 | 分類號: | G01N21/95 |
| 代理公司: | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人: | 趙宇 |
| 地址: | 621900*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 反射 合成 孔徑 數(shù)字 全息 光學 元件 表面 檢測 裝置 | ||
【說明書】:
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