[實用新型]OLED顯示屏真空干膜裝置

有效

• 申請號: 201521131337.2
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN205344141U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 李春風;吳聰原
• 申請（專利權）人: 威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: B41J11/00
• 分類號: B41J11/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 何蔚

技術領域

本實用新型涉及OLED顯示技術領域，具體涉及一種OLED顯示屏真空干膜裝置。

背景技術

有機電致發光顯示(OLED)技術快速發展，給顯示界帶來巨大沖擊，然而顯示技術一直停留在小尺寸顯示屏，而大尺寸顯示屏成本一直無法降下來去和液晶顯示去競爭，從而更快的走入尋常百姓家中。

現在打印和印刷技術被科學界公認為降低大尺寸OLED顯示屏的最佳途徑，所以工業界紛紛研究大尺寸OLED打印及印刷技術及工藝，而打印及印刷工藝與傳統技術除了把蒸鍍工藝改為打印或印刷，還有因為打印及印刷這樣濕法工藝而帶來的干燥處理問題，這種干燥處理就是把濕法工藝中材料需要做成墨水或者漿料而引入的溶劑去除掉，但是目前的加工技術中，對于如何去除這種溶劑，尚沒有較佳的處理技術。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種可以有效地去除濕法工藝中墨水或者漿料而引入的溶劑的OLED顯示屏真空干膜裝置。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

OLED顯示屏真空干膜裝置，其包括：

箱體；

冷熱板，其固定安裝于箱體內，冷熱板還連接冷卻加熱源；

第一真空泵，其安裝于箱體的頂部，從箱體的頂部對箱體的內部抽真空；

第二真空泵，其相對第一真空泵安裝于箱體的底部，從箱體的底部對箱體的內部抽真空。

本實用新型通過在箱體的頂部和底部分別設置第一真空泵和第二真空泵，并在箱體內固定設置冷熱板，使用時，將樣品放在冷熱板上，關好箱體，冷熱板快速加熱，第一真空泵粗抽，到達一定真空度，然后啟動第二真空泵抽到極限真空，然后冷熱板快速冷卻樣品，補氣平衡，取出樣品，由此使得OLED的濕法工藝中材料需要做成墨水或者漿料而引入的溶劑被有效地去除掉，有效地解決了OLED濕法工藝中的干燥處理問題，從而提高生產效率、降低生產成本，使工業界突破大尺寸OLED顯示成為可能。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以作如下改進：

作為優選的方案，上述的箱體上連接第一真空泵的部分上設置有真空度調節器。

采用上述優選的方案，可以實現對第一真空泵的抽速和真空度大小的調節。

作為優選的方案，上述的箱體的頂部設置有真空室，第一真空泵連通真空室。

采用上述優選的方案，可以實現在箱體的頂部預抽真空。

作為優選的方案，上述的真空室上還設置有加速腔室。

采用上述優選的方案，在同等真空泵配置情況下可以加快預抽真空速度大于40％。

作為優選的方案，上述的真空室呈上窄下寬的結構。

采用上述優選的方案，可使的抽力到達真空室下部分散均勻。

作為優選的方案，上述的真空室內設置有抽力分散單元，用于分散真空室內所形成的抽力。

采用上述優選的方案，可以解決真空接口到真空室體積由小突然變大引起的抽力分散不均問題，使得設備水平面上抽力分布均勻大小一致，提高批次穩定性與成品率，從而降低生產成本。

作為優選的方案，上述的抽力分散單元包括多塊由上至下依次設置的板體，該板體上開設有多個通孔。

采用上述優選的方案，可以進一步地使得設備水平面上抽力分布均勻大小一致。

作為優選的方案，上述的板體之間還設置膜層。

采用上述優選的方案，可以進一步地使得設備水平面上抽力分布均勻大小一致。

作為優選的方案，上述的冷熱板的周圍設置剖面呈有U形的導向板。

采用上述優選的方案，可以輔助抽力均勻向上，抽力均勻的優點就是膜干燥的均勻，一致性好，批次穩定型好，自然成品率就高，成本自然就降低。

作為優選的方案，上述的冷熱板的底部還設置有連通箱體外部的補氣口。

采用上述優選的方案，可以通過微量補氣輔助控制真空度及加快干燥過程。

附圖說明

圖1為本實用新型的OLED顯示屏真空干膜裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型的OLED顯示屏真空干膜裝置中的抽力分散單元的結構示意圖。

其中，1.箱體11.冷熱板12.真空壁13.真空室14.加速腔室15.導向板16.補氣口2.第一真空泵21.真空度調節器3.第二真空泵4.抽力分散單元41.板體42.膜層。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型的優選實施方式。