[實用新型]一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備有效
| 申請號： | 201521130158.7 | 申請日： | 2015-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN205275692U | 公開（公告）日： | 2016-06-01 |
| 發明（設計）人： | 唐曉峰;逯琪;董建廷 | 申請（專利權）人： | 上海朗億功能材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201620 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 納米 鍍膜 連續生產 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備，包括儲料倉(1)、連續下料裝置 (2)、磁控濺射裝置(4)、真空腔體(5)、收料倉(6)、抽氣系統(7)、進氣系 統(8)，其特征在于：還包括帶有皮帶輸送裝置和皮帶振動裝置的傳輸系統 (3)，所述傳輸系統(3)安裝于真空腔體(5)內部的磁控濺射裝置(4)下 方。
2.根據權利要求1所述的一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備，其特征在 于：所述進氣系統(8)包括氣瓶、氣體管路、氣體流量計，進氣的種類包含 氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氮氣、氧氣、甲烷、乙炔、氯化氟。
3.根據權利要求1所述的一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備，其特征在 于：所述皮帶輸送裝置包括機架、滾軸、電機、變速器及襯板。
4.根據權利要求1所述的一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備，其特征在 于：所述皮帶振動裝置裝配于皮帶輸送裝置的襯板或機架上，振動裝置包括 振動電機或超聲波振動發生器。
5.根據權利要求1所述的一種用于微納米粉體鍍膜的連續生產設備，其特征在 于：所述磁控濺射裝置(4)并排裝配于真空腔體(5)頂端，包括靶材、靶 架、濺射電源、冷卻水路及密封系統。
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