[實用新型]一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置有效
| 申請號: | 201521126064.2 | 申請日: | 2015-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN205319128U | 公開(公告)日: | 2016-06-15 |
| 發明(設計)人: | 華重慶;過渭平 | 申請(專利權)人: | 安徽銀欣新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人: | 蔣海軍 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 太陽能電池 刻蝕 噴淋 裝置 | ||
1.一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,包括集水槽(1)、傳動機構和噴淋機構,其 中,所述的傳動機構安裝于集水槽(1)內用于承載、輸送電池片,在傳動機構的上方設有噴 淋機構,其特征在于:所述的噴淋機構包括噴淋管(5)、供水管(7)和水箱(8),噴淋管(5) 通過供水管(7)與水箱(8)相連,沿噴淋管(5)的長度方向設有一排節流閥(6),在噴淋 管(5)下方對應的傳動機構上設有傳感器,且所述供水管(7)上設有進水調節閥(701), 上述傳感器、節流閥(6)及進水調節閥(701)均與控制器相連。
2.根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,其特征在于:所述集 水槽(1)的側壁下部設有排水口,該排水口設有一層濾網(4),上述排水口通過循環管(802) 與水箱(8)的進水總管(801)相連,且在循環管(802)上設有循環泵。
3.根據權利要求1所述的一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,其特征在于:所述的 傳動機構采用傳送輥輪(2),且傳送輥輪(2)通過轉軸安裝于集水槽(1)內。
4.根據權利要求3所述的一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,其特征在于:所述的 傳送輥輪(2)沿其長度方向通過硅片擋圈(201)分隔為八段,在每段傳送輥輪(2)上各安 裝一個傳感器,且所述的節流閥(6)對應均勻分布于八段傳送輥輪(2)的上方。
5.根據權利要求4所述的一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,其特征在于:每段傳 送輥輪(2)的上方分別設有均勻分布的5個節流閥(6)。
6.根據權利要求1-5中任一項所述的一種用于太陽能電池片刻蝕的噴淋裝置,其特征在 于:所述的供水管(7)與噴淋管(5)的中心相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





