[實用新型]一種靶材涂銦加熱平臺

有效

• 申請號: 201521123024.2
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN205385619U
• 公開（公告）日: 2016-07-13
• 發明（設計）人: 梁國雄
• 申請（專利權）人: 廣州市番禺科進超聲波設備廠
• 主分類號: H05B3/42
• 分類號: H05B3/42
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 羅曉林

技術領域

本實用新型涉及靶材涂銦平臺，具體涉及一種可更換發熱管均勻加熱靶材涂銦平臺。

背景技術

靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子、顯示器、存儲器以及光學鍍膜等產業上，市場對靶材濺射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。

靶材涂銦是指將銦金屬融化后涂布在靶材表面。

目前靶材涂銦采用的加熱平臺都是澆鑄成型。有以下缺點：1、表面粗糙；2、加熱速度慢（加熱至200攝氏度時需要2小時）；3、表面容易氧化；4、整體容易變形；5、發熱管不能更換；6、平臺表面溫差大（正負15度以上），靶材容易受熱不均而出現裂紋。

實用新型內容

為克服現有技術的不足及存在的問題，本實用新型提供一種可以改善傳統靶材涂銦的加熱平臺結構。

本實用新型是通過以下技術方案實現的：

一種靶材涂銦加熱平臺，包括不銹鋼框架、柜體部分和安裝在不銹鋼框架上部的加熱平臺；所述加熱平臺上設有孔，孔內裝有發熱管。

所述加熱平臺采用鋁合金板材壓鑄成型，加熱平臺上的孔為均勻分布，加熱平臺的邊緣設有匯流槽。

所述發熱管為單頭出線發熱管，發熱管與加熱平臺上的孔間隙配合。

所述加熱平臺上每一個孔內裝入一支發熱管。

所述不銹鋼框架上還安裝有活動腳輪和平衡固定膠杯。

所述柜體部分上還設有總開關、溫控器和指示燈。

本實用新型提供的一種靶材涂銦加熱平臺的支架采用不銹鋼結構，堅固耐用；加熱平臺使用的壓鑄成型鋁合金板材表面可作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快；鋁合金板材易于加工，發熱管均勻分布，因此加熱平臺的表面溫差小，在正負5攝氏度內，這樣靶材可均勻受熱；因加熱平臺采用鋁合金材料，表面不易氧化，正常加熱溫度范圍內整體熱變形量極小；發熱管是采用精密工藝制造的單頭出線發熱管，壓鑄成型的加熱平臺的合金鋁板孔精度高，發熱管可與加熱平臺的內孔精密配合；加熱平臺的每一個孔內插入一支發熱管，發熱管可以單獨更換。使用本實用新型改善了以往涂銦平臺表面粗燥、加熱速度慢、整體易變形、表面易氧化、平臺表面溫差大、發熱管不能更換的缺點。

附圖說明

圖1為本實用新型靶材涂銦加熱平臺結構示意圖。

圖中標號所示為：1-不銹鋼框架，2-柜體部分，3-加熱平臺，4-活動腳輪，5-平衡固定膠杯，6-總開關,7-溫控器，8-指示燈，9-發熱管，10-匯流槽。

具體實施方式

為了便于本領域技術人員的理解，下面結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

一種靶材涂銦加熱平臺包括不銹鋼框架1、柜體部分2和安裝在不銹鋼框架1上部的加熱平臺3；所述加熱平臺3上設有孔，孔內裝有發熱管9。

如圖1所示，一種靶材涂銦加熱平臺的不銹鋼框架1一般通過焊接工藝制造，以不銹鋼框架1為支撐的柜體部分2安裝在不銹鋼框架1上，加熱平臺3通過螺栓連接固定在不銹鋼框架1上。

加熱平臺3采用壓鑄成型高密度的鋁合金板材，加熱平臺3上的孔通過壓鑄一次成型或者在板材上通過后續鉆孔加工，加熱平臺3上的孔為均勻分布，孔內裝入發熱管9，發熱管9通電產熱，可使加熱平臺3均勻受熱。

加熱平臺3使用的壓鑄成型鋁合金板材表面作精磨加工，表面光滑，能與靶材無縫接觸，熱傳遞快。

所述加熱平臺3邊緣有匯流槽10，匯流槽10由壓鑄工藝一次成型。

加熱平臺3采用的發熱管9為精密工藝制造的單頭出線發熱管，加熱平臺3的孔加工精度高，因此發熱管9與加熱平臺3配合精密，傳熱效果好，使得加熱平臺3升溫快。

加熱平臺3上的每一個孔內裝入一支發熱管9，因此發熱管9可獨立快速更換。

不銹鋼框架1上還安裝有活動腳輪4和平衡固定膠杯5，方便平臺的移動和平衡固定。

柜體2上還設有總開關6、溫控器7和指示燈8，柜體2內部設有控制和顯示電路，柜體2表面還布置有控制和顯示用的按鈕、儀表和屏幕。

所述實施例為本實用新型較佳的實現方案，在不脫離本實用新型構思的前提下，只是對本實用新型作出直接的置換或等同的替換，均屬于本實用新型的保護范圍之內。