[實用新型]基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置

有效

• 申請號: 201521120666.7
• 申請日: 2015-12-31
• 公開（公告）號: CN205280608U
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 李冰冰;董敬濤;陳堅;吳周令
• 申請（專利權）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 宋倩

1.一種基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：包括用于放置樣品的樣品臺以及分別與樣品光路連接的泵浦光源、探測光源、光學照明光源和探測裝置；

所述泵浦光源與樣品之間設有泵浦光聚焦裝置，所述探測光源與樣品之間設有探測光第一聚焦裝置，所述樣品位于泵浦光聚焦裝置和探測光第一聚焦裝置的焦平面處；

所述光學照明光源與樣品之間依次設有光學照明光分束裝置和光學照明光反射裝置，所述光學照明光反射裝置設置在泵浦光源與泵浦光聚焦裝置之間；

所述泵浦光源，用于輸出泵浦光束，所述泵浦光束經過光學照明光反射裝置透射后，再經過泵浦光聚焦裝置聚焦在樣品上；

所述探測光源，用于輸出探測光束，所述探測光束經過探測光第一聚焦裝置聚焦在樣品上，且所述探測光束的聚焦光斑與泵浦光束的聚焦光斑重合；

所述光學照明光源，用于輸出光學照明光束，所述光學照明光束依次經過光學照明光分束裝置反射、光學照明光反射裝置反射后，再經過泵浦光聚焦裝置聚焦在樣品上，且所述光學照明光束的聚焦光斑與泵浦光束和探測光束的聚焦光斑重合；從樣品反射的光學照明光束依次經過泵浦光聚焦裝置收集、光學照明光反射裝置反射、光學照明光分束裝置透射后，再經過成像透鏡聚焦在成像裝置上；

所述探測裝置，用于接收從樣品出射的探測光束，并對接收的探測光束傳播特性的變化進行檢測。

2.根據權利要求1所述的基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：所述泵浦光源與光學照明光反射裝置之間依次設有泵浦光斬波裝置和泵浦光擴束裝置。

3.根據權利要求1所述的基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：所述探測光源與探測光第一聚焦裝置之間設有探測光擴束裝置，所述探測光第一聚焦裝置與樣品之間設有入射探測光偏轉裝置。

4.根據權利要求1所述的基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：所述探測裝置與樣品之間設有出射探測光偏轉裝置。

5.根據權利要求1或4所述的基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：所述探測裝置包括依次設置的探測光第二聚焦裝置、空間濾波裝置、濾光裝置和光電探測裝置。

6.根據權利要求1所述的基于光熱檢測和光學顯微的光學材料缺陷實時成像裝置，其特征在于：所述樣品臺配有調節裝置，所述調節裝置用于調節樣品臺的位置。