[實用新型]一種快速冷卻的太陽能電池PECVD石墨舟冷卻房

有效

• 申請號: 201521107414.0
• 申請日: 2015-12-25
• 公開（公告）號: CN205231092U
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發明（設計）人: 華重慶;柯貴軍;朱鈺
• 申請（專利權）人: 安徽銀陽光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 蔣海軍

技術領域

本實用新型屬于太陽能電池生產設備技術領域，更具體地說，涉及一種快速冷卻的太陽 能電池PECVD石墨舟冷卻房。

背景技術

隨著石油、天然氣等不可再生能源的日益短缺，太陽能、風能、潮汐能等可再生能源的 開發、利用越來越受到國內外研究者的關注。其中，太陽能光伏發電以其無枯竭危險、無污 染、不受資源分布地域的限制、可在用電處就近發電、能源質量高、使用者從感情上容易接 受、獲取能源花費的時間短和供電系統工作可靠等優點贏得了較好的市場前景，我國太陽能 光伏電池生產也進入了高速發展的時代。

在光伏電池硅片生產過程中通常需要采用等離子體增強型化學氣相沉積工藝(PECVD) 對經過制絨及擴散等工藝處理后的太陽能電池表面進行氮化硅減反膜沉積處理，從而減少光 的反射，增加電池對光線的吸收。目前，現有技術中對太陽能電池進行氮化硅減反膜沉積處 理時通常是使用石墨舟作為電池片的承載工具，但由于經減反射膜沉積完成之后石墨舟的溫 度過高，需要將其快速冷卻至35-50℃?，F有技術中通常是通過石墨舟載車將石墨舟推至石 墨舟冷卻房，通過冷卻風機進行冷卻。但由于現有技術中石墨舟冷卻房的設計不合理，造成 冷卻房內冷卻風循環不暢，冷卻較慢，且只能對石墨舟的局部進行冷卻，從而導致冷卻工序 時間較長，達不到快速冷卻石墨舟的效果，嚴重影響PECVD的產能。

如，中國專利申請號：201320196077.1，申請日：2013年04月17日，發明創造名稱為： 一種石墨舟冷卻裝置，該申請案中的石墨舟冷卻裝置包括框架和設置在框架底部四角的固定 底座；所述框架內設有石墨舟冷卻臺，所述冷卻臺面上設有出風口，所述出風口與軸流風機 連接，所述軸流風機與延時繼電器連接。該申請案通過在石墨舟冷卻裝置中安裝延時繼電器 在一定程度上可以控制石墨舟的冷卻時間，降低損耗，提高設備的使用效率。但是該申請案 中的出風口即只能對石墨舟的底部進行吹風冷卻，空氣循環不暢，從而導致冷卻時間較長。

實用新型內容

1.實用新型要解決的技術問題

本實用新型的目的在于克服由于現有石墨舟冷卻房設計不合理，冷卻房內冷卻風循環不 暢，冷卻較慢，且只能對石墨舟的局部進行冷卻，從而導致冷卻工序時間較長的不足，提供 了一種快速冷卻的太陽能電池PECVD石墨舟冷卻房。通過使用本實用新型的石墨舟冷卻房， 可以改善冷卻房內的空氣流通情況，提高了對石墨舟的冷卻效果，從而使冷卻時間明顯縮短。

2.技術方案

為達到上述目的，本實用新型提供的技術方案為：

本實用新型的一種快速冷卻的太陽能電池PECVD石墨舟冷卻房，包括冷卻房房體和冷 卻平臺，所述的冷卻平臺設置于冷卻房房體內且位于待冷卻石墨舟的下方，在上述冷卻平臺 上設有排風口，該排風口與冷卻風機相連，在所述的冷卻房房體的頂部中間及兩側各設有一 個熱排口，這三個熱排口分別與熱排管相連。

更進一步地，在所述的冷卻房房體頂部的三個熱排口均設有抽風機。

更進一步地，所述的冷卻平臺上的排風口有兩個，分別對稱設置于冷卻平臺的中部兩側。

更進一步地，在所述的冷卻房房體的兩側壁對稱設有一組排風扇，這組排風扇的排風口 對著石墨舟的兩側進行排風。

更進一步地，所述排風扇的排風方向與石墨舟側壁的夾角為30-60°。

3.有益效果

采用本實用新型提供的技術方案，與現有技術相比，具有如下有益效果：

(1)本實用新型的一種快速冷卻的太陽能電池PECVD石墨舟冷卻房，在冷卻房房體內 設有冷卻平臺，該冷卻平臺位于待冷卻石墨舟的下方，且在冷卻平臺上設有排風口，排風口 與冷卻風機相連，從而可以對石墨舟進行排風冷卻。本實用新型中在冷卻房房體的頂部中間 及兩側各設有一個熱排口，這三個熱排口分別與熱排管相連，通過上述三個熱排口的設置可 以使冷卻房內產生的熱氣容易被排出冷卻房，改善了冷卻房內的空氣流通情況，從而有利于 石墨舟的快速冷卻。

(2)本實用新型的一種快速冷卻的太陽能電池PECVD石墨舟冷卻房，在冷卻房房體頂 部的三個熱排口均設有抽風機，從而可以使冷卻房內的熱流更易被抽出，加速了空氣的流通 和石墨舟的冷卻，進一步減少了冷卻時間。